主要规格及技术指标
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用于材料表面形貌、组成、成分分析。分辨率:1.0nm(15kv),2.0nm(1kv);加速电压:0.5~30kv,0.1kv/步;放大倍数:20~80万倍;束流强度:1pA~2nA;样品室:最大样品尺寸100mm。配有电制冷能谱仪,可进行定点元素成分定性和无标样定量分析 |
主要功能及特色
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用于研究材料精细形貌成像分析 |
主要附件及配置
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EDS |