光刻机
光刻机
负责人员
尹鹏和, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械2号楼）主校区厚望楼（机械2号楼）117
联系电话
15841166916
送样
仪器编号
20700927
规格
SUSS MA6
生产厂家
SUSS MICRO TEC LITHOGRAPHY GMB
型号
SUSS MA6
制造国家
德国
分类号
05010562
出厂日期
2007-03-07
购置日期
2007-03-07
入网日期
2020-06-12
主要规格及技术指标

适于光刻6英寸的晶片；光刻最高分辨率0.7微米；双面光刻；正面对准精度±0.5微米，反面对准精度±1微米。

主要功能及特色

对涂有光刻胶的基片进行紫外线曝光，将掩模板图形复制到基片上。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
实验项目 收费单位 学部、学院内 校内 社会服务 划片开机（新增） 次 65 65 98 划片（新增） 刀 7 7 11 标准定价为普通标准工艺；若有特殊、复杂工艺，考虑到成品率等影响因素，则价格另议。 若工艺成本增加，则价格可能要有适当浮动。