硅片磨床
硅片磨床
负责人员
康仁科
存放地址
主校区知方楼（新校区机械学院大楼）U068(070)
联系电话
13074133688
仪器编号
20035241
规格
VG 401MK2
生产厂家
冈本工体机械制造所
型号
VG 401MK2
制造国家
日本
分类号
05080103
出厂日期
2003-11-19
购置日期
2003-11-19
入网日期
2024-02-18
主要规格及技术指标

采用在线厚度测量仪控制向下进给磨削，具有自动和手动两种操作方式，空气轴承单主轴结构，主轴最大转速3000rpm，主轴快速进给150mm/min，主轴进给速度范围1~999μm/min，加工精度0.1μm

主要功能及特色

立式单轴超精密自动磨床，适用于硅片的超精密加工技术研究和小批量生产, 可磨削加工直径4~16英寸（100~400mm）、厚度为1.5mm的单晶硅片

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息