微流控芯片通道成形与自动对准装配系统
微流控芯片通道成形与自动对准装配系统
负责人员
陈莉
存放地址
机械学院2号楼（电信实验楼）-洁净实验室热压间
联系电话
0411-84707713
仪器编号
20047469
规格
自制
生产厂家
大连理工大学微系统研究中心
型号
自制
制造国家
中国
分类号
05080132
出厂日期
2004-06-28
购置日期
2004-06-28
入网日期
2021-04-27
主要规格及技术指标

定位精度：＜3微米
沟道不一致性：＜5%
加工速度：每小时3－5片

主要功能及特色

该设备对样品施加适当压力和聚合物玻璃化转化温度，用于热压成型及芯片键合。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息