干法刻蚀机
干法刻蚀机
负责人员
张溪, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械学院2号楼）116
联系电话
0411-84707713-8103/8112
送样
仪器编号
20803374
规格
AMS 100SE
生产厂家
阿尔卡特
型号
AMS 100SE
制造国家
法国
分类号
03060304
出厂日期
2008-06-03
购置日期
2008-06-03
入网日期
2020-07-24
主要规格及技术指标

样品直径小于6英寸

主要功能及特色

BOSCH工艺刻蚀硅。刻蚀氧化硅。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息