一、简介

机械工程大型仪器共享中心成立于2023年，共享中心下设几何量测试中心、微纳制造与测试实验室、模具精密制造与先进成型实验室、力学量测试实验室4大平台，占地约1500平方米。共享中心秉持“开放、共享、高效”理念，现有25名专职实验技术人员，其中副高级工程师5名、中级工程师10名，实验员10名，并配备大型仪器设备59台。中心立足人才培养、科研创新，为以下测试方向提供全方位技术服务。

二、共享中心设置

（一）几何量测试中心

1、服务范围：

（1）几何量参数检测（长度、角度、深度、孔径、孔距、空间距离等）

（2）形状误差检测（直线度、平面度、圆度、圆柱度、线轮廓度、面轮廓仪等）

（3）位置误差检测（平行度、垂直度、倾斜度、同轴度、同心度等）

（4）表面粗糙度检测（线粗糙度：Rp、Rv、Ra等；面粗糙度Sp、Sv、Sa等）

（5）表面形貌检测（2D形貌、3D形貌，观察尺度从亚纳米级到米级）

（6）材料性能检测（成分分析、摩擦力测量、粘附力测量、相位测量等）

（7）机床精度检测（线性定位精度、直线度、平行度、垂直度等）

（8）综合检测（复杂零件检测、高精度零件、刀具参数检测等）

2、功能模块：

（1）何量检测模块：三坐标测量机、刀具测量仪、3D表面轮廓仪、圆度仪等9台大型精密仪器。

（2）形貌检测模块：数码显微镜、共聚焦显微镜、超声显微镜、非接触表面形貌仪等11台大型精密仪器。

（3）材料性能测模块：原子力显微镜、扫描电镜等3台大型精密仪器。

（4）机械性能检测模块：激光干涉仪、球杆仪2台大型精密仪器。

（二）微纳制造与测试实验室

1、服务范围：

（1）微纳米器件的制造与测试。

（2）制造工艺包括光刻、氧化、刻蚀、沉积、键合、表面处理以及3D打印等。

（3）测试内容包括器件电信号、微观三维形貌、薄膜应力、材料物性以及微振动测量等。

（4）可加工材料包括各类半导体、金属以及有机高分子聚合物等。

2、功能模块：

（1）基片预处理模块：样品清洗、高温氧化、退火热处理。

（2）微纳图形加工模块：光刻、干湿法刻蚀、精密划片。

（3）薄膜制备模块：金属溅射、Parylene 绝缘膜沉积。

（4）器件封装成型模块：静电真空封接、微尺度光固化 3D 打印。

（5）微观性能检测模块：形貌、光谱、电学、薄膜应力、润湿、轮廓、微振动全项测试。

（三）模具精密制造与先进成型实验室

1、服务范围：

（1）复杂曲面零部件高效精密数控加工。

（2）复杂曲面数控加工误差生成机理分析。

（3）高速加工技术及实验。

（4）微成型及复合材料制品成型加工与实验。

（5）超硬材料加工及实验。

（6）各种制品的精密检测。

（7）精密模具设计与制造。

（8）各种中、小型非标设备的辅助加工及装配。

2、功能模块：

（1）模具研发模块：精密模具三维设计、制造与维保，配套模塑产品开发。

（2）精密机加模块：复杂曲面、超硬材料、复合材料构件数控与微成型加工。

（3）工艺科研模块：高速切削、加工误差机理等工艺试验研究。

（4）精密检测模块：各类加工成品尺寸与形位精度精密检测。

（5）非标配套模块：中小型科研非标零部件外协加工与整机装配。

（四）力学量测试实验室

1、服务范围：

（1）基础力学性能指标测试。

（2）疲劳、振动及蠕变性能测试。

（3）极端服役环境及特殊场景力学性能评价测试（盐雾、高低温环境、老化性能测试、复杂加载条件力学行为测试等）。

（4）微纳力学性能测试与评价（摩擦、磨损性能测试等）。

2、功能模块：

（1）常规基础力学性能检测模块。

（2）动态力学耐久性能测试模块。

（3）极端环境工况力学评价模块。

（4）微尺度摩擦磨损力学表征模块。