各位老师、同学：
辽宁黄海实验室的场发射扫描电镜（ZEISS Gemini460、ZEISS Sigma360）即日起开始试运行。
仪器放置地点：黄海实验室1号楼103-105室
仪器负责人：王书艳、张丝雨
设备功能：
1、可实现亚纳米级别高分辨率的成像技术，在高探针电流条件下提供快速成像，在低电压条件下仍能提供出色分辨率。
2、具有多种成像模式，可以同时进行 Inlens
二次电子成像和背散射电子成像，以收集高分辨率、表面和复合成分信息。
3、配备有能谱仪（EDS）可进行微区成分定性和半定量以及元素分布情况进行分析。
4、配备有电子背散射衍射（EBSD）探头，可获得样品晶体取向、晶粒尺寸、相分析、织构分析等多种晶体学信息。
5、可进行氩离子抛光（表面抛光、截面抛光）用于制备EBSD样品。
性能指标：
1、分辨率：
1）二次电子分辨率（SE）：0.7 nm @ 15 kV，0.8 nm @ 1 kV ；
2）背散射分辨率（BSE）：1.2 nm
@ 1 kV ；
3、放大倍数范围：8x-2,000,000x ；
4、能谱元素分析范围：Be4-Cf98 ；
5、EBSD（Symmetry S3）在线解析最高标定速度5700 pps，取向精度0.05度。
样品要求：固体、干燥、导电、无磁性；SEM样品尺寸小于φ100mm×30mm；EBSD要求样品上下两个面平整且平行，表面无应力，尺寸小于φ15mm×10mm。可提供氩离子抛光（表面抛光、截面抛光）用于制备EBSD样品，如有疑问可咨询设备负责人。
应用领域：可用于对金属材料、微纳复合材料、高分子材料、半导体材料等，提供微观组织结构、颗粒尺寸、成分分析及微区取向等分析。
委托方式：可加QQ群号：687283658，加群请备注学院-导师-姓名-年级硕/博，联系老师沟通测试需求，确认时间到现场测试。
联系电话：15724516136
辽宁黄海实验室
2026年3月9日
测试案例：
利用Inlens SE模式观察纳米颗粒
金属EBSD测试分析
