各位老师、同学:

辽宁黄海实验室的光电联用显微表征系统（SU8700 & AFM5500）于即日起正式运行。

仪器放置地点:黄海实验室1号楼103-105室（有往返班车，具体时间安排可联系负责老师）

仪器编号：20269CDB

仪器负责人:张丝雨、王书艳

设备功能及特色：

1、可实现亚纳米级别高分辨率的成像技术，在高探针电流条件下提供快速成像，在低电压条件下仍能提供出色分辨率，配备有EDS，可进行微区成分进行定性和半定量分析

2、拥有SEM-AFM联用系统，通过共享坐标样品台功能，可对同一位置实现超高分辨形貌、元素分布、力学及电磁学测试分析。

性能指标：

一、电镜参数

1、样品最大尺寸：φ50mm×30mm（H）

2、分辨率:0.6nm@15kV；0.8nm@1kV

3、加速电压:0.1-30kV

4、EDS元素分析范围:Be4~Cf98

二、原子力参数

1、样品最大尺寸：φ100mmx20mm(H)

2、扫描范围:200um×200um×15um

3、RMS噪声水平:≤0.04 nm

4、马达台移动范围:XY≥100mm,Z≥21mm

三、联用参数

1、SEM-AFM联用对中精度:±10μm

2、联用样品最大尺寸：φ20mm×9mm(H)

应用领域：

应用覆盖半导体和电子元器件、材料科学、生命科学、科研等领域。

测试方式：委托测试和自主测试，加QQ群号：687283658，加群请备注学院-导师-姓名-年级硕/博）

1、委托方式：在QQ群文件下载送样单并填写提交。

2、自主检测：在QQ群内关注培训通知，通过培训及设备上机要求后可自主上机测试。

联系电话：18741725092

计费信息：

【校内用户】

一、微观形貌与成分检测

1.送样检测360元/小时，1小时之内按照1小时收费；

2.送样检测180元/样，5张照片以内；

3.自主检测240元/小时

二、粗糙度检测：

1.委托测试

1）300元/小时

2）200元/小时（探针自行购买，400/根）

2.自主检测 100元/小时（探针自行购买）

注：正式运行校内测试费6折优惠，截止至2026年12月31日，校外根据测量情况另议。

SE观察纳米颗粒的形貌

金属合金晶界处的析出相

硅片刻蚀粗糙度测量

AFM-SEM联用