各位老师、同学:

辽宁黄海实验室的三维形貌扫描测量系统（DSX2000CT）于即日起正式开始运行。

仪器放置地点：英歌石辽宁黄海实验室1号楼103-105房间（有往返班车，具体时间安排可联系负责老师）

仪器编号：20269776

仪器负责人：金雅明、张广翔

设备功能及特色：设备包括微观和宏观两部分测量模块，基于激光共聚焦原理，可开展微宏观表面形貌、尺寸、指定区域面积/体积、线面粗糙度、透明膜厚等测量。

性能指标：

一、微观模块（共聚焦）

1、XY平台行程： 600×600mm

2、最大承重：12kg

3、物镜：2.5X、5X、10X、20X、20X长焦、50X、100X

4、Z向扫描行程：10mm

5、样品高度：≤150mm

6、分辨率：水平120nm，高度6nm

7、测量重复性：宽度20nm，高度12nm

二、宏观模块（超景深）

1、XY平台行程： 300×300mm

2、最大承重：5kg

3、物镜：1X、3X、5X、10X

4、Z向扫描行程：101mm

5、样品高度：≤295mm

6、放大倍数：20.9-7307

7、镜头倾斜角度：左右±90°

8、单张图像：8192×6000

样品要求：固体，尺寸和重量小于对应模块要求，具体可咨询仪器负责老师。

应用领域：主要用于材料、机械制造、冶金、精密光学等领域亚微米级形貌、表面粗糙度的观测，包括金属加工、半导体与微电子、摩擦磨损测试件定量分析、失效定性分析、复杂零件表面形貌。

委托方式：

1、送样预约：在大仪平台搜索三维形貌扫描测量系统（仪器编号：20269776）并提交送样申请和送样申请单，在QQ通知群（群号：1020775492，加群请备注学院-导师-姓名-年级硕/博）中下载送样单并填写，测样时间等待电话通知。

2、自主上机：在系统中提交培训申请，培训通过后方可自主上机。

联系电话：13591117028

收费标准：

一、委托测试：

1、微观形貌、粗糙度及尺寸常规测试：

样品尺寸＜200mm：校外用户收费300元/件，校内用户收费200元/件；

200mm≤样品尺寸＜400mm：校外用户收费500元/件，校内用户收费400元/件；

样品尺寸≥400m：校外用户收费1000元/件，校内用户收费800元/件。

2、宏观形貌、景深图、尺寸测试：

300元一件（5个部位以内），同一个样件，超过5个以上的元素按60元/部位增量计价，每个部位拼接不超过2*2；拼接、特殊需求，按照300元/小时计费。

二、自主上机（校内用户）

1、微观形貌、粗糙度及尺寸：200元/小时。

2、宏观形貌、景深图、尺寸测试：100元/小时。

注：正式运行校内测试费6折优惠，截止至2026年12月31日。校外根据测量情况另议。

辽宁黄海实验室

2026年10月15日