关于辽宁黄海实验室光电联用显微表征系统正式运行的通知
各位老师、同学:辽宁黄海实验室的光电联用显微表征系统(SU8700&AFM5500)于即日起正式运行。仪器放置地点:黄海实验室1号楼103-105室(有往返班车,具体时间安排可联系负责老师)仪器编号:20269CDB仪器负责人:张丝雨、王书艳设备功能及特色:1、可实现亚纳米级别高分辨率的成像技术,在高探针电流条件下提供快速成像,在低电压条件下仍能提供出色分辨率,配备有EDS,可进行微区成分进行定性和半定量分析2、拥有SEM-AFM联用系统,通过共享坐标样品台功能,可对同一位置实现超高分辨形貌、元素分布、力学及电磁学测试分析。性能指标:一、电镜参数1、样品最大尺寸:φ50mm×30mm(H)2、分辨率:0.6nm@15kV;0.8nm@1kV3、加速电压:0.1-30kV4、EDS元素分析范围:Be4~Cf98二、原子力参数1、样品最大尺寸:φ100mmx20mm(H)2、扫描范围:200um×200um×15um3、RMS噪声水平:≤0.04nm4、马达台移动范围:XY≥100mm,Z≥21mm三、联用参数1、SEM-AFM联用对中精度:±10μm2、联用样品最大尺寸:φ20mm×9mm(H)应用领域:应用覆盖半导体和电子元器件、材料科学、生命科学、科研等领域。测试方式:委托测试和自主测试,加QQ群号:687283658,加群请备注学院-导师-姓名-年级硕/博)1、委托方式:在QQ群文件下载送样单并填写提交。2、自主检测:在QQ群内关注培训通知,通过培训及设备上机要求后可自主上机测试。联系电话:18741725092计费信息:【校内用户】一、微观形貌与成分检测1.送样检测360元/小时,1小时之内按照1小时收费;2.送样检测180元/样,5张照片以内;3.自主检测240元/小时二、粗糙度检测:1.委托测试1)300元/小时2)200元/小时(探针自行购买,400/根)2.自主检测100元/小时(探针自行购买)注:正式运行校内测试费6折优惠,截止至2026年12月31日,校外根据测量情况另议。SE观察纳米颗粒的形貌金属合金晶界处的析出相硅片刻蚀粗糙度测量AFM-SEM联用